第三代數(shù)據(jù)流控制器實(shí)現(xiàn)先進(jìn)半導(dǎo)體工藝
Mykrolis公司在近日于美國(guó)舊金山舉行的SEMICON West展覽中推出其第三代IntelliFlow數(shù)字化數(shù)據(jù)流控制器(MFC)，該產(chǎn)品將數(shù)種Mykrolis氣體傳送內(nèi)核技術(shù)集成在一個(gè)單一的模塊化單元中，可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝過(guò)程。
IntelliFlow 3XP具備的重要特性包括精度、響應(yīng)時(shí)間、控制范圍、壓力不敏感性及可編程等，可用于下一代蝕刻、沉浸及熱處理的先進(jìn)生成過(guò)程中。該MFC同時(shí)通過(guò)集成的壓力傳感器、顯示器和UHP污染控制(可降低氣體系統(tǒng)成本和尺寸)提供了一種模塊化解決方案。
IntelliFlow 3XP提供了最新的氣流控制技術(shù)，其獨(dú)特的集成性能、技術(shù)和領(lǐng)先的用戶可配置性與診斷軟件為用戶改進(jìn)IC工藝、提高設(shè)備利用率并降低成本提供了上佳功能。與上一代MFC相同，IntelliFlow 3XP也集成了IntelliFlow軟件，可為用戶設(shè)置氣體和范圍，并提供診斷功能和圖形化用戶界面。